扩散电阻应力检测原理是当加在样品上的应力超过其临界应力时，样品发生塑性变形，从而改变了扩散电阻的形状，进而通过测量电阻的变化来检测应力。扩散电阻法即扩散电阻分布是一种以较高分辨率测试半导体材料扩散电阻、电阻率、载流子浓度分布等电学参数的方法，属于一种实验比较的方法，该方法的步骤是先测量一系列点接触的扩展电阻，再用校准曲线来确定被测样品在探针接触点附近的电阻率，进而换算成系列测试点所对应的的载流子浓度。