国产光刻机是一流水平。中国在光刻机技术方面取得了巨大进步，甚至已经超越了欧美日韩，成为世界一流水平。在光刻机设备制造方面，中国已经建立了完整的产业链，包括原材料、光刻机设备、光刻胶、检测设备等配套产业，形成了完整的产业生态系统。同时，国内光刻机厂商也逐渐成长壮大，像中微半导体、华天科技、龙鑫光电等企业在光刻机设备制造方面已经具备了世界一流的水平。